Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, embalaje, marcado, almacenamiento, transporte y seguridad del oxígeno utilizado en la industria electrónica. Esta norma es aplicable al oxígeno gaseoso o líquido extraído mediante el método criogénico y el método de electrólisis, así como al oxígeno obtenido mediante el método de purificación. Se utilizan principalmente para la deposición química de vapor de dióxido de silicio, como fuente de oxidación y como reactivo para la producción de agua de alta pureza, para grabado y decapado con plasma y para fibras ópticas.
GB/T 14604-2009 Documento de referencia
GB 14194-2006 Reglas para el llenado de cilindros de gas permanentes.
GB 16912-2008 Reglamento técnico de seguridad para el oxígeno y gases relativos producidos con método criogénico.
GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
GB 5099-1994 Cilindros de gas de acero sin costura
GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
GB/T 14600 Gas para la industria electrónica. Óxido Nitroso
GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo