Esta norma especifica los requisitos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento y contenido del formulario de pedido (contrato) para objetivos de silicio utilizados para películas ópticas de pulverización catódica con magnetrón plano. Esta norma se aplica a objetivos de silicio para pulverización catódica con magnetrón plano de películas ópticas delgadas.