BS EN 62047-6:2010 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Métodos de ensayo de fatiga axial de materiales de película delgada normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica el método para los ensayos de fatiga por tracción-fuerza de tracción axial de materiales de película delgada con una longitud y un ancho inferiores a 1 mm y un espesor en el rango de entre 0,1 μm y 10 μm en un rango de fuerza constante o un rango de desplazamiento constante. Las películas delgadas se utilizan como principales materiales estructurales para MEMS y micromáquinas. Los principales materiales estructurales para MEMS, micromáquinas, etc., tienen características especiales, como dimensiones típicas de unas pocas micras, fabricación del material por deposición y fabricación de probetas mediante mecanizado no mecánico, incluida la fotolitografía. Esta norma internacional especifica los métodos de ensayo de fatiga por fuerza axial para probetas lisas de tamaño micro, lo que permite garantizar una precisión correspondiente a las características especiales. Los ensayos se llevan a cabo a temperatura ambiente, al aire, con carga aplicada a la probeta a lo largo del eje longitudinal.

BS EN 62047-6:2010 Historia

2010 BS EN 62047-6:2010 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Métodos de ensayo de fatiga axial de materiales de película delgada