General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 25755-2010
Alcance
Esta norma especifica los métodos de medición para los parámetros de rendimiento de las bombas de iones de pulverización catódica (en lo sucesivo denominadas bombas de iones). Esta norma se aplica a bombas de iones con un caudal volumétrico nominal superior a 10 l/s. El estándar mide el rango de presión del caudal volumétrico desde 1,5×10-3Pa hasta 1×10-7Pa.