GOST R 8.592-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medida de relieve de rango nanométrico de silicio monocristalino. Formas geométricas, tamaño lineal y requisitos de materiales de fabricación.
GOST 19658-1981 Silicio monocristalino en lingotes. Especificaciones
GOST 8.591-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medida de relieve en rango nanométrico con perfil trapezoidal de elementos. Método de verificación
GOST 8.593-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios de sonda de barrido de fuerza atómica. Método de verificación
GOST 8.594-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios electrónicos de barrido. Método de verificación
GOST R 8.592-2009 Historia
2009GOST R 8.592-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medida de relieve de rango nanométrico de silicio monocristalino. Formas geométricas, tamaño lineal y requisitos de materiales de fabricación.