GOST R 8.659-2009
Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones Instrumentos que miden las características de la radiación ultravioleta de las pruebas tecnológicas de nanofotolitografía. Procedimiento de verificación

Estándar No.

GOST R 8.659-2009

Fecha de publicación

2009

Organización

RU-GOST R

Ultima versión

GOST R 8.659-2009

GOST R 8.659-2009 Documento de referencia

• GOST 8.197-2005 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. ¿Esquema de verificación estatal para instrumentos que miden la radiancia espectral en el rango espectral de 0,04 a 0,25?
• GOST 8.207-1976 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Mediciones directas con múltiples observaciones. Métodos de procesamiento de los resultados de las observaciones. Principios básicos
• GOST 8.552-2001 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Esquema de verificación estatal para instrumentos que miden el flujo radiante y la irradiancia en el rango espectral de 0,03 a 0,40 mcm.

GOST R 8.659-2009 Historia

• 2009 GOST R 8.659-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones Instrumentos que miden las características de la radiación ultravioleta de las pruebas tecnológicas de nanofotolitografía. Procedimiento de verificación