EN 62047-8:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 8: Método de ensayo de flexión de tiras para medir la propiedad de tracción de películas delgadas.

Estándar No.

EN 62047-8:2011

Fecha de publicación

2011

Organización

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Ultima versión

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EN 62047-8:2011 Historia

• 2011 EN 62047-8:2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 8: Método de ensayo de flexión de tiras para medir la propiedad de tracción de películas delgadas.