EN 62047-9:2011
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS

Estándar No.
EN 62047-9:2011
Fecha de publicación
2011
Organización
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Ultima versión
EN 62047-9:2011

EN 62047-9:2011 Historia

  • 2011 EN 62047-9:2011 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS


© 2023 Reservados todos los derechos.