VDI 2083 Blatt 7-2006
Tecnología de sala blanca: limpieza de los medios de proceso

Estándar No.
VDI 2083 Blatt 7-2006
Fecha de publicación
2006
Organización
Association of German Mechanical Engineers
Estado
 2015-09
Remplazado por
VDI 2083 Blatt 7-2015
VDI 2083 BLATT 7-2013
Ultima versión
VDI 2083 Blatt 7-2015
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VDI 2083 Blatt 7-2000
Alcance
La limpieza de los medios de proceso es un elemento del procesamiento limpio. El nivel de limpieza de los medios de proceso depende de una multitud de fuentes potenciales de contaminación. Esta parte de la directiva VDI 2083 evalúa principalmente la influencia de la contaminación por partículas. La contaminación por partículas de productos fabricados en salas limpias no está sujeta a esta directriz.

VDI 2083 Blatt 7-2006 Documento de referencia

  • DIN 50450-1:1987 Pruebas de materiales para tecnología de semiconductores; determinación de impurezas en gases portadores y gases dopantes; Determinación de la impureza del agua en hidrógeno, oxígeno, nitrógeno, argón y helio mediante el uso de una celda de pentóxido de difósforo.
  • DIN 50450-2:1991 Pruebas de materiales para tecnología de semiconductores; determinación de impurezas en gases portadores y gases dopantes; Determinación de impurezas de oxígeno en N, Ar, He, Ne y H mediante el uso de una celda galvánica.
  • DIN 50450-3:1991 Pruebas de materiales para tecnología de semiconductores; determinación de impurezas en gases portadores y gases dopantes; determinación de impurezas de metano en H, O, N, Ar y He mediante el uso de un detector de ionización de llama (FID)
  • DIN 50452-1:1995 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Método de ensayo para el análisis de partículas en líquidos. Parte 1: Determinación microscópica de partículas.
  • DIN 50452-2:1991 Pruebas de materiales para tecnología de semiconductores; método de prueba para análisis de partículas en líquidos; determinación de partículas con contadores ópticos de partículas
  • DIN 58356-12:2000 Elementos filtrantes - Elementos filtrantes de membrana - Parte 12: Prueba de integridad de filtros de membrana hidrófobos con agua
  • DIN 58356-2:2000 Elementos filtrantes de membrana - Parte 2: Pruebas de soporte de presión
  • VDI 2083 Blatt 1-2005 Tecnología de salas blancas: clases de limpieza del aire por partículas
  • VDI 2083 Blatt 2-1996 Reinraumtechnik - Bau@ Betrieb und Instandhaltung
  • VDI 2083 Blatt 3-2005 Tecnología de salas blancas: metrología y métodos de prueba
  • VDI 2083 Blatt 4-1996 Reinraumtechnik - Oberflaechenreinheit
  • VDI 2083 Blatt 4.1-2005 Tecnología de salas blancas - Planificación@ construcción y puesta en marcha de salas blancas
  • VDI 2083 Blatt 5-1996 Tecnología de sala blanca - Confort térmico

VDI 2083 Blatt 7-2006 Historia



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