VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
Medición óptica y microtopografías - Calibración de microscopios de interferencia y estándares de medición de profundidad para medición de rugosidad
- Estándar No.
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- Fecha de publicación
- 2008
- Organización
- Association of German Mechanical Engineers
- Ultima versión
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- Alcance
- La presente directiva VDI/VDE 2655 parte 1.1 se aplica a los microscopios de interferencia utilizados para medir la topografía de superficies industriales. Los procedimientos de calibración descritos son comparables a los métodos que ya han demostrado su eficacia en las directrices sobre la trazabilidad de instrumentos de lápiz de contacto (ver Figura 1) (DKD-R 4-2; EAL-G20). Por ello, en la medida de lo posible, también se han utilizado las normas examinadas allí (plano óptico, rejilla óptica, norma de medición de profundidad, norma de medición de rugosidad). La presente parte de la serie de directrices se limita a la calibración básica del microscopio de interferencia. Esto incluye la trazabilidad a la unidad de longitud mediante mediciones con estándares de medición de profundidad trazables. Esto corresponde a la trayectoria vertical derecha en la Figura 1. De estos procedimientos de medición surge la derivación para calcular la incertidumbre de medición en la calibración del instrumento y la derivación para la medición en estándares de medición de profundidad. Los procedimientos correspondientes para los parámetros de rugosidad de la superficie se describirán en la Parte 2.1. La aplicación de esta directriz persigue los siguientes objetivos: Mejorar la comparabilidad de las mediciones de superficie utilizando diferentes microscopios, así como entre microscopios e instrumentos de lápiz de contacto con los estándares (documentos) y los estándares para instrumentos de lápiz de contacto. Definición de las condiciones para la trazabilidad a la unidad de longitud como como se muestra en la Figura 1 Determinación de la idoneidad para la calibración y definición del alcance de validez de una calibración Definición de requisitos mínimos para el proceso de calibración y para las condiciones de aceptación Provisión de un modelo conforme a GUM para calcular la incertidumbre de medición del método de medición utilizando una interferencia microscopio Definición de los requisitos para un informe de resultados.
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 Historia
- 2008 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 Medición óptica y microtopografías - Calibración de microscopios de interferencia y estándares de medición de profundidad para medición de rugosidad
- 2005 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2005 Medición óptica y microtopografías - Calibración de microscopios de interferencia y estándares de medición de profundidad para medición de rugosidad
