EN 62047-13:2012
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 13: Métodos de ensayo de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva de estructuras MEMS.

Estándar No.

EN 62047-13:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Ultima versión

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EN 62047-13:2012 Historia

• 2012 EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 13: Métodos de ensayo de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva de estructuras MEMS.