IEC 62047-10:2011/COR1:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS; Corrección 1

Estándar No.

IEC 62047-10:2011/COR1:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

International Electrotechnical Commission (IEC)

Ultima versión

IEC 62047-10:2011/COR1:2012

IEC 62047-10:2011/COR1:2012 Historia

• 2012 IEC 62047-10:2011/COR1:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS; Corrección 1
• 2011 IEC 62047-10:2011 Dispositivos semiconductores – Dispositivos microelectromécaniques – Parte 10: Ensayo de compresión utilizando la técnica de micropilas para los materiales MEMS (Edición 1.0)