LST EN 62047-3-2007
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 3: Pieza de prueba estándar de película delgada para ensayos de tracción (IEC 62047-3:2006).

Estándar No.

LST EN 62047-3-2007

Fecha de publicación

2007

Organización

Lithuanian Standards Office

Ultima versión

LST EN 62047-3-2007

LST EN 62047-3-2007 Historia

• 2007 LST EN 62047-3-2007 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 3: Pieza de prueba estándar de película delgada para ensayos de tracción (IEC 62047-3:2006).