LST EN 62047-10-2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS (IEC 62047-10:2011).

Estándar No.

LST EN 62047-10-2011

Fecha de publicación

2011

Organización

Lithuanian Standards Office

Ultima versión

LST EN 62047-10-2011

LST EN 62047-10-2011 Historia

• 2011 LST EN 62047-10-2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS (IEC 62047-10:2011).