YS/T 839-2012
Método de prueba para la medición del espesor de aisladores y del índice de refracción sobre sustratos de silicio mediante elipsometría. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- YS/T 839-2012
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2012
- Organización
- Professional Standard - Non-ferrous Metal
- Ultima versión
- YS/T 839-2012
- Alcance
- Este método especifica el método para medir el espesor y el índice de refracción de películas aislantes cultivadas o depositadas sobre sustratos de silicio mediante pruebas de polarización elíptica. Este método es adecuado para medir el espesor y el índice de refracción de películas aislantes donde la película no tiene absorción de la longitud de onda de prueba y el sustrato es opaco a la longitud de onda de prueba, y se conocen el índice de refracción y el coeficiente de extinción del sustrato a la longitud de onda de prueba. . Para películas no aislantes, este método sólo se puede utilizar si se cumplen determinadas condiciones.
YS/T 839-2012 Historia
- 2012 YS/T 839-2012 Método de prueba para la medición del espesor de aisladores y del índice de refracción sobre sustratos de silicio mediante elipsometría.
