GB/T 29507-2013 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 29507-2013
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2013
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 29507-2013

Alcance: Esta norma especifica la prueba de planitud, espesor y cambio de espesor total de obleas de silicio con un diámetro no inferior a 50 mm y un espesor no inferior a 100 μm para corte, esmerilado, corrosión, pulido, epitaxia u otros estados superficiales. Este estándar es un método de prueba de escaneo automático sin contacto y no destructivo, adecuado para pruebas de planitud y espesor de obleas de silicio limpias y secas, y no se ve afectado por cambios en el espesor de la oblea de silicio, el estado de la superficie y la forma de la oblea de silicio. ,

GB/T 29507-2013 Documento de referencia

2013 GB/T 29507-2013 Método de prueba para medir la planitud, el espesor y la variación del espesor total en obleas de silicio. Escaneo automatizado sin contacto