IEC 62047-11:2013
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos
- Estándar No.
- IEC 62047-11:2013
- Fecha de publicación
- 2013
- Organización
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Ultima versión
- IEC 62047-11:2013
- Reemplazar
- IEC 47F/154/FDIS:2013
- Alcance
- Esta parte de IEC 62047 especifica el método de prueba para medir los coeficientes de expansión térmica lineal (CLTE) de materiales delgados e independientes de sistemas microelectromecánicos (MEMS) sólidos (metálicos@cerámicos@poliméricos, etc.) con una longitud entre 0@1 mm y 1 mm y ancho entre 10 ?? y 1 mm y espesor entre 0@1 ?? y 1 mm@ que son los principales materiales estructurales utilizados para micromáquinas MEMS@ y otros. Este método de prueba es aplicable para la medición de CLTE en el rango de temperatura desde temperatura ambiente hasta el 30 % de la temperatura de fusión de un material.
IEC 62047-11:2013 Historia
- 2013 IEC 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos
