DS/EN 62276:2013
Obleas monocristalinas para aplicaciones de dispositivos de ondas acústicas superficiales (SAW): especificaciones y métodos de medición

Estándar No.

DS/EN 62276:2013

Fecha de publicación

2013

Organización

Danish Standards Foundation

Ultima versión

DS/EN 62276:2013

Reemplazar

DS/EN 62276-2005

Alcance

IEC 62276:2012 se aplica a la fabricación de obleas monocristalinas de cuarzo sintético, niobato de litio (LN), tantalato de litio (LT), tetraborato de litio (LBO) y silicato de lantano y galio (LGS) destinadas a ser utilizadas como sustratos en la fabricación de superficies.

DS/EN 62276:2013 Historia

• 2013 DS/EN 62276:2013 Obleas monocristalinas para aplicaciones de dispositivos de ondas acústicas superficiales (SAW): especificaciones y métodos de medición