YS/T 936-2013 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica los requisitos, métodos de prueba, reglas y marcas de inspección, embalaje, transporte, almacenamiento, certificados de calidad y contenido del contrato o pedido para objetivos de pulverización catódica de aleación de níquel-vanadio para dispositivos de circuitos integrados. Esta norma se aplica a varios tipos de objetivos de pulverización catódica de aleación de níquel vanadio utilizados en la fabricación de películas delgadas electrónicas.

YS/T 936-2013 Documento de referencia

GB/T 1031 Especificaciones geométricas del producto (GPS). Textura de la superficie: método del perfil. Parámetros de rugosidad de la superficie y sus valores.
GB/T 14265 Regla general de análisis químico de hidrógeno, oxígeno, nitrógeno, carbono y azufre en materiales metálicos.*， 2017-10-14 Actualizar
GB/T 6394 Determinación de la estimación del tamaño medio de grano del metal.*， 2017-02-28 Actualizar
GJB 1580A Pruebas ultrasónicas de metales deformados*， 2019-12-08 Actualizar
YS/T 837 Práctica estándar para la evaluación de la unión mediante escaneo C ultrasónico de conjuntos de placa de respaldo de objetivo de pulverización catódica

2013 YS/T 936-2013 Objetivo de aleación de níquel vanadio de pulverización catódica utilizado en un dispositivo de circuito integrado