YS/T 893-2013 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica los requisitos, métodos de prueba, reglas y marcas de inspección, embalaje, transporte, almacenamiento, certificación de calidad y contratos (pedidos) para objetivos de pulverización catódica de titanio de alta pureza para películas delgadas electrónicas. Esta norma se aplica a varios objetivos de pulverización catódica de titanio utilizados en la fabricación de películas delgadas electrónicas.

YS/T 893-2013 Documento de referencia

GB/T 1031 Especificaciones geométricas del producto (GPS). Textura de la superficie: método del perfil. Parámetros de rugosidad de la superficie y sus valores.
GB/T 4698.14 Métodos para el análisis químico de esponjas de titanio, titanio y aleaciones de titanio. Determinación del contenido de carbono.
GB/T 4698.15 Métodos para el análisis químico de esponjas de titanio, titanio y aleaciones de titanio. Determinación del contenido de hidrógeno.
GB/T 4698.7 Métodos para el análisis químico de esponjas de titanio, titanio y aleaciones de titanio. Determinación del contenido de oxígeno y nitrógeno.
GB/T 6394 Determinación de la estimación del tamaño medio de grano del metal.*， 2017-02-28 Actualizar
GJB 1580A Pruebas ultrasónicas de metales deformados*， 2019-12-08 Actualizar
YS/T 837 Práctica estándar para la evaluación de la unión mediante escaneo C ultrasónico de conjuntos de placa de respaldo de objetivo de pulverización catódica
YS/T 891 Métodos para el análisis químico de titanio de alta pureza. Determinación del contenido de elementos traza de impurezas. Espectrometría de masas de descarga incandescente.
YS/T 892 Métodos para el análisis químico de titanio de alta pureza. Determinación del contenido de elementos traza de impurezas. Espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente.

2013 YS/T 893-2013 Objetivo de titanio de pulverización catódica de alta pureza utilizado en películas electrónicas