ISO 25178-603:2013 Especificaciones geométricas del producto (GPS). Textura de la superficie: Areal. Parte 603: Características nominales de los instrumentos sin contacto (microscopía interferométrica de cambio de fase)
International Organization for Standardization (ISO)
Ultima versión
ISO 25178-603:2013
Alcance
Esta parte de la Norma ISO 25178 describe las características metrológicas de los microscopios de medición de perfiles interferométricos de desplazamiento de fase (PSI) y de textura de superficies areales.
ISO 25178-603:2013 Historia
2013ISO 25178-603:2013 Especificaciones geométricas del producto (GPS). Textura de la superficie: Areal. Parte 603: Características nominales de los instrumentos sin contacto (microscopía interferométrica de cambio de fase)