KS D ISO 14706:2003
Análisis químico de superficie: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)

Estándar No.

KS D ISO 14706:2003

Fecha de publicación

2003

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS D ISO 14706-2003(2018)

Ultima versión

KS D ISO 14706-2003(2023)

Alcance

Esta especificación cubre superficies pulidas químicamente o epitaxialmente.

KS D ISO 14706:2003 Historia

• 0000 KS D ISO 14706-2003(2023)
• 0000 KS D ISO 14706-2003(2018)
• 2003 KS D ISO 14706:2003 Análisis químico de superficie: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)