NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos
Esta parte de IEC 62047 define el método de prueba para medir los coeficientes de expansión térmica lineal (CLTE) de materiales delgados e independientes de sistemas microelectromecánicos sólidos (MEMS) (metálicos, cerámicos, poliméricos, etc.) cuya longitud está entre 0,1 mm. y 1 mm, el ancho entre 10 pico my 1 mm, y el espesor entre 0,1 pico my 1 mm, que son los principales materiales estructurales utilizados para MEMS, micromáquinas y otros. Este método de prueba se puede aplicar a la medición de CLTE en el rango de temperatura desde temperatura ambiente hasta el 30% de la temperatura de fusión del material.
NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Historia
2014NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos