JC/T 2243-2014
Tubo de cuarzo cubierto con una película para PECVD. (Versión en inglés)

Estándar No.

JC/T 2243-2014

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2014

Organización

Professional Standard - Building Materials

Estado

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Ultima versión

JC/T 2243-2014

Remplazado por

KS B 4063-2014

Alcance

Esta norma especifica los términos y definiciones, materiales, requisitos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de tubos de cuarzo recubiertos para procesos de deposición química de vapor mejorados con plasma. Esta norma se aplica a los tubos de cuarzo recubiertos (en adelante, tubos de cuarzo de PE) utilizados en procesos de deposición química de vapor mejorados con plasma de placas.

JC/T 2243-2014 Documento de referencia

• JC/T 2066-2011 Tubos de difusión de vidrio de cuarzo para silicio para células solares.
• JC/T 597-2011 Tubos de vidrio de cuarzo transparente para semiconductores.
• JC/T 598 Tubos de cuarzo transparentes para fuente de iluminación eléctrica.

JC/T 2243-2014 Historia

• 2014 JC/T 2243-2014 Tubo de cuarzo cubierto con una película para PECVD.

JC/T 2243-2014 Tubo de cuarzo cubierto con una película para PECVD. ha sido cambiado a KS B 4063-2014 Prensas mecánicas de lados rectos — Características y dimensiones.