ISO 14706:2014
Análisis químico de superficies: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)
- Estándar No.
- ISO 14706:2014
- Fecha de publicación
- 2014
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 14706:2014
ISO 14706:2014 Documento de referencia
- ISO 14644-1:1999 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire
- ISO 5725-2:1994 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 2: Método básico para la determinación de la repetibilidad y reproducibilidad de un método de medición estándar.
ISO 14706:2014 Historia
- 2014 ISO 14706:2014 Análisis químico de superficies: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)
- 2000 ISO 14706:2000 Análisis químico de superficies: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)
