GB/T 18867-2014
Gases para la industria electrónica. Hexafluoruro de azufre (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 18867-2014
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2014
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 18867-2014
Reemplazar
GB/T 18867-2002
Alcance
Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, señales, embalaje, almacenamiento y seguridad del hexafluoruro de azufre. Esta norma se aplica al hexafluoruro de azufre preparado mediante la reacción directa de azufre y flúor mediante refinación y purificación. Este producto se utiliza principalmente como agente de limpieza y grabador por plasma para cámaras de deposición química de vapor en la industria electrónica. Fórmula molecular: SF6. Masa molecular relativa: 146,0564192 (calculada según la masa atómica relativa internacional en 2007).

GB/T 18867-2014 Documento de referencia

  • GB 14193 Reglas para el llenado de cilindros de gas licuado.
  • GB 15258 Reglas generales para la preparación de etiquetas de precaución para productos químicos.
  • GB 16804 Etiquetas de precaución para cilindros de gas.
  • GB 190 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
  • GB 5099 Cilindros de gas de acero sin costura
  • GB 7144 Marca de cilindro de color para gases.
  • GB/T 12022 Hexafluoruro de azufre industrial
  • GB/T 26571 Especificación para la vida útil de un gas especial
  • GB/T 28726-2012 Análisis de gases. Cromatógrafo de gases con detector de ionización de helio.
  • GB/T 3723 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo
  • GB/T 5832.1 Análisis de gases. Determinación del agua. Parte 1: Método electrolítico.*2016-12-13 Actualizar
  • GB/T 5832.3 Determinación de la humedad en gases. Parte 3: El método de espectroscopía de cavidad anular hacia abajo.
  • GB/T 8170 Reglas de redondeo para valores numéricos y expresión y juicio de valores límite

GB/T 18867-2014 Historia

  • 2014 GB/T 18867-2014 Gases para la industria electrónica. Hexafluoruro de azufre
  • 2002 GB/T 18867-2002 Gases para la industria electrónica--Hexafluoruro de azufre



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