NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 22: método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles.
Esta parte de IEC 62047 especifica un método de prueba de tracción para medir las propiedades electromecánicas de materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS) de películas conductoras delgadas unidas a sustratos flexibles no conductores. Las estructuras de película delgada sobre sustratos flexibles se utilizan ampliamente en MEMS, productos de consumo y electrónica de montaje flexible. El comportamiento eléctrico de las capas sobre sustratos flexibles difiere del de capas y sustratos independientes debido a las interacciones vinculadas a las interfaces. Diferentes subcombinaciones
NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Documento de referencia
ISO 527-3 Plásticos. Determinación de las propiedades de tracción. Parte 3: Condiciones de ensayo para películas y láminas.*， 2018-11-05 Actualizar
NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Historia
2014NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 22: método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles.