Esta norma especifica el método para la determinación de impurezas de carbono en clorosilanos, incluyendo principalmente la determinación de metildiclorosilano en triclorosilano y la determinación de metildiclorosilano en tetracloruro de silicio. Esta norma es aplicable a la determinación de metildiclorosilano en triclorosilano y a la determinación de metildiclorosilano en tetracloruro de silicio. El rango de detección de metildiclorosilano en triclorosilano y tetracloruro de silicio es 0,000 01%~1,00%.