BS EN 62047-16:2015
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo
- Estándar No.
- BS EN 62047-16:2015
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS EN 62047-16:2015
BS EN 62047-16:2015 Historia
- 2015 BS EN 62047-16:2015 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo
