BS ISO 13083:2015
Análisis químico de superficies. Microscopía de sonda de barrido. Estándares sobre la definición y calibración de la resolución espacial de microscopios de sonda de barrido eléctrico (ESPM), como SSRM y SCM para imágenes dopantes en 2D y otros fines
- Estándar No.
- BS ISO 13083:2015
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS ISO 13083:2015
- Alcance
- Esta Norma Internacional describe un método para medir la resolución espacial (lateral) de microscopios de capacitancia de barrido (SCM) o microscopios de resistencia de propagación de barrido (SSRM), ampliamente utilizados para obtener imágenes de la distribución de portadores y otras propiedades eléctricas en dispositivos semiconductores. El método implica el uso de un artefacto de borde afilado.
BS ISO 13083:2015 Documento de referencia
- ISO 18115-2 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.*， 2021-12-21 Actualizar
- ISO 18516 Análisis químico de superficies: determinación de la resolución lateral y la nitidez en métodos basados en haces con un rango de nanómetros a micrómetros.*， 2019-01-14 Actualizar
BS ISO 13083:2015 Historia
- 2015 BS ISO 13083:2015 Análisis químico de superficies. Microscopía de sonda de barrido. Estándares sobre la definición y calibración de la resolución espacial de microscopios de sonda de barrido eléctrico (ESPM), como SSRM y SCM para imágenes dopantes en 2D y otros fines
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