Esta norma especifica el método de medición de la longitud del plano de referencia de las obleas de material electrónico. Esta norma es aplicable a la medición de la longitud de la superficie de referencia de discos de pulido de silicio, discos abrasivos y discos de corte de varios diámetros. También es adecuado para medir la longitud del plano de referencia de obleas de arseniuro de galio, zafiro y gadolinio y galio y otros materiales.
GB/T 13387-1992 Historia
2009GB/T 13387-2009 Método de prueba para medir obleas de silicio y otros materiales electrónicos de longitud plana.
1992GB/T 13387-1992 Método de prueba para medir la longitud plana en rodajas de materiales electrónicos.