GB/T 13388-1992
Método para medir la orientación cristalográfica de planos en láminas y obleas de silicio monocristalino mediante técnicas de rayos X. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 13388-1992
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1992
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Estado
- 2010-06
- Remplazado por
- GB/T 13388-2009
- Ultima versión
- GB/T 13388-2009
- Alcance
- Esta norma especifica el método para medir la orientación cristalográfica del plano de referencia de obleas de silicio mediante tecnología de rayos X. Esta norma es aplicable a la medición de la desviación angular entre la orientación cristalográfica del plano de referencia de la oblea de silicio y la orientación especificada del plano de referencia. El diámetro de la oblea de silicio es de 50 a 125 mm y la longitud de la superficie de referencia es de 10 a 50 mm. Esta norma no se aplica a la medición de obleas de silicio cuya orientación especificada está en un plano perpendicular al plano de referencia y a la superficie de la oblea de silicio, y al ángulo entre la proyección de la superficie de la oblea de silicio y la línea normal de la oblea de silicio. superficie no sea inferior a 3°.
GB/T 13388-1992 Historia
- 2009 GB/T 13388-2009 Método para medir la orientación cristalográfica de planos en rodajas y obleas de silicio monocristalino mediante técnicas de rayos X.
- 1992 GB/T 13388-1992 Método para medir la orientación cristalográfica de planos en láminas y obleas de silicio monocristalino mediante técnicas de rayos X.
