ASTM F3166-16 Especificación estándar para el objetivo de pulverización catódica de titanio de alta pureza utilizado para la metalización de vías de silicio (TSV)
1.1 Esta especificación detalla los requisitos de criterios genéricos de los objetivos de pulverización catódica de titanio de alta pureza utilizados como material de película delgada para la metalización de vías a través de silicio (TSV) en el embalaje anticipado. 1.2 Las especificaciones de pureza del objetivo de pulverización catódica, tamaño de grano, calidad interna, unión, dimensión y apariencia se incluyen en esta especificación junto con referencias para los métodos de prueba de calificación. También se incluyen requisitos de confiabilidad, certificación, trazabilidad y empaque. 1.2.1 Requisitos de pureza: 1.2.1.1 Impurezas de elementos metálicos, y 1.2.1.2 Impurezas de elementos no metálicos. 1.2.2 Requisitos de tamaño de grano—Tamaño de grano. 1.2.3 Requisitos de Calidad Interna—Defecto interno. 1.2.4 Requisitos de vinculación: 1.2.4.1 Placa de respaldo y 1.2.4.2 Relación de unión. 1.2.5 Requisitos de configuración: 1.2.5.1 Dimensión, 1.2.5.2 Tolerancia y 1.2.5.3 Rugosidad de la superficie. 1.2.6 Requisitos de apariencia—Limpieza de la superficie. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F3166-16 Documento de referencia
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ASTM F3166-16 Historia
2016ASTM F3166-16 Especificación estándar para el objetivo de pulverización catódica de titanio de alta pureza utilizado para la metalización de vías de silicio (TSV)