General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 32814-2016
Alcance
Este estándar especifica los requisitos de proceso y los requisitos de inspección de calidad que se deben seguir al utilizar obleas de silicio SOI para el procesamiento de dispositivos MEMS. Esta norma se aplica al procesamiento y la inspección de calidad de dispositivos MEMS basados en obleas de silicio SOI en tecnología de fabricación de MEMS basada en silicio.