Esta norma especifica los términos generales de tecnología de vacío, términos de bombas de vacío, términos de vacuómetros, términos de sistemas de vacío, términos de detección de fugas de vacío, términos de tecnología de recubrimiento al vacío, términos de secado al vacío, términos de análisis de superficies y términos de metalurgia al vacío. Esta norma se aplica a la preparación de documentos técnicos, normas, libros y manuales y otros materiales relacionados con la tecnología del vacío.