BS EN 62047-25:2016
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la fuerza de tracción y corte del área de microunión
- Estándar No.
- BS EN 62047-25:2016
- Fecha de publicación
- 2016
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS EN 62047-25:2016
BS EN 62047-25:2016 Documento de referencia
- EN 62047-1 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 1: Términos y definiciones.
- EN ISO 10012 Sistemas de gestión de mediciones Requisitos para procesos de medición y equipos de medición ISO 10012:2003; Reemplaza EN 30012-1:1993
- IEC 62047-1 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 1: Términos y definiciones.
- ISO 10012 Sistemas de gestión de mediciones: requisitos para procesos de medición y equipos de medición.
BS EN 62047-25:2016 Historia
- 2016 BS EN 62047-25:2016 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la fuerza de tracción y corte del área de microunión
