DIN 50989-1:2018
Elipsometría - Parte 1: Principios; Texto en alemán e inglés.

Estándar No.

DIN 50989-1:2018

Fecha de publicación

2018

Organización

German Institute for Standardization

Ultima versión

DIN 50989-1:2018

Reemplazar

DIN 50989-1:2017

Alcance

Esta norma trata de la elipsometría, un método para determinar constantes ópticas y dieléctricas en el rango espectral UV-VIS-NIR, así como espesores de capa, en el rango de control de producción en línea, garantía de calidad y desarrollo de materiales.

DIN 50989-1:2018 Documento de referencia

• DIN EN ISO/IEC 17025:2005 Requisitos generales para la competencia de los laboratorios de ensayo y calibración (ISO/IEC 17025:2005); Versión alemana e inglesa EN ISO/IEC 17025:2005
• ISO/IEC Guide 98-3:2008 Incertidumbre de medición. Parte 3: Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995)

DIN 50989-1:2018 Historia

• 2018 DIN 50989-1:2018 Elipsometría - Parte 1: Principios; Texto en alemán e inglés.
• 1970 DIN 50989-1 E:2017-04
• 0000 DIN 50989-1:2017