Los medios (productos químicos y gases) de alta pureza/pureza ultraalta (HP-/UHP-) se utilizan cada vez más para muchos fines de producción. El objetivo es mantener el nivel de limpieza entre el punto de suministro (POS) y el punto de entrada (POE) o, respectivamente, aceptar una reducción de la pureza sólo en determinadas zonas definidas donde esté permitido. El propósito de esta Guía es resumir el conocimiento sobre el diseño, construcción, operación y monitoreo de sistemas de suministro de medios HP/UHP. La limpieza se refiere a contaminantes residuales como partículas, cationes, aniones, TOC y otros parámetros específicos (gases extraños, humedad, etc.). No se proporciona información sobre los requisitos de limpieza, ya que estos serán determinados por el usuario respectivo de acuerdo con el uso previsto.
DIN EN ISO 9002:1994 Sistemas de calidad: modelo para el aseguramiento de la calidad en la producción, instalación y servicio.
DIN EN ISO 9003:1994 Sistemas de calidad – Modelo para el aseguramiento de la calidad en la inspección y ensayo final
DIN EN ISO 9004-1:1994 Gestión de la calidad y elementos del sistema de calidad. Parte 1: Directrices.
VDI 2083 Blatt 10-1998 Historia
2015VDI 2083 Blatt 7-2015 Tecnología de sala blanca - Medios ultrapuros - Calidad, suministro, distribución
1998VDI 2083 Blatt 10-1998 Tecnología de sala limpia: sistemas de suministro de medios de alta pureza/ultra alta pureza (HP-/UHP-)
1995VDI 2083 Blatt 10-1995 Tecnología de salas blancas: sistemas de suministro de medios puros
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