VDI 2083 Blatt 10-1998
Tecnología de sala limpia: sistemas de suministro de medios de alta pureza/ultra alta pureza (HP-/UHP-)

Estándar No.
VDI 2083 Blatt 10-1998
Fecha de publicación
1998
Organización
Association of German Mechanical Engineers
Estado
Remplazado por
VDI 2083 Blatt 7-2015
Ultima versión
VDI 2083 Blatt 7-2015
Reemplazar
VDI 2083 Blatt 10-1995
Alcance
Los medios (productos químicos y gases) de alta pureza/pureza ultraalta (HP-/UHP-) se utilizan cada vez más para muchos fines de producción. El objetivo es mantener el nivel de limpieza entre el punto de suministro (POS) y el punto de entrada (POE) o, respectivamente, aceptar una reducción de la pureza sólo en determinadas zonas definidas donde esté permitido. El propósito de esta Guía es resumir el conocimiento sobre el diseño, construcción, operación y monitoreo de sistemas de suministro de medios HP/UHP. La limpieza se refiere a contaminantes residuales como partículas, cationes, aniones, TOC y otros parámetros específicos (gases extraños, humedad, etc.). No se proporciona información sobre los requisitos de limpieza, ya que estos serán determinados por el usuario respectivo de acuerdo con el uso previsto.

VDI 2083 Blatt 10-1998 Documento de referencia

VDI 2083 Blatt 10-1998 Historia

  • 2015 VDI 2083 Blatt 7-2015 Tecnología de sala blanca - Medios ultrapuros - Calidad, suministro, distribución
  • 1998 VDI 2083 Blatt 10-1998 Tecnología de sala limpia: sistemas de suministro de medios de alta pureza/ultra alta pureza (HP-/UHP-)
  • 1995 VDI 2083 Blatt 10-1995 Tecnología de salas blancas: sistemas de suministro de medios puros

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