tecnología de microsistemas

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En la clasificación estándar internacional, las clasificaciones involucradas en tecnología de microsistemas son: Circuitos integrados. Microelectrónica.

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• DIN-Fachbericht 65:1997 Tecnología de microsistemas
• DIN 32564-1:2004-05 Equipos de producción para microsistemas - Términos y definiciones - Parte 1: Términos generales de la tecnología de microsistemas

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, tecnología de microsistemas

• GB/T 26111-2010 Tecnología de sistemas microelectromecánicos.Términos

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