Esta norma especifica los modelos y parámetros básicos de los equipos de recubrimiento por pulverización catódica al vacío, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento, etc. Esta norma es aplicable a equipos de recubrimiento por inyección al vacío con una presión en el rango de 1×10^(-4)~5×10^(-3)Pa.
JB/T 8945-1999 Historia
2010JB/T 8945-2010 Planta de recubrimiento por pulverización catódica al vacío
1999JB/T 8945-1999 Planta de recubrimiento por pulverización catódica al vacío