Esta norma especifica los parámetros básicos, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de equipos de recubrimiento por pulverización catódica al vacío. Esta norma se aplica a los equipos de recubrimiento por pulverización catódica al vacío con una presión en el rango de 1×10Pa ~ 1×10pa.
JB/T 8945-2010 Documento de referencia
GB/T 11164-1999 Especificaciones genéricas de la planta de recubrimiento al vacío.