Esta norma especifica el tipo y los parámetros básicos, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las reglas de inspección y los requisitos para la estandarización, embalaje, transporte, almacenamiento, etc. de los equipos de recubrimiento por evaporación al vacío. Esta norma es aplicable a equipos de recubrimiento por evaporación al vacío con una presión máxima en el rango de 5×10^(-4)pa ~ 5×10^(-3)Pa.