Esta norma especifica el modelo, la forma y los parámetros básicos, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las reglas y marcas de inspección, el embalaje, el transporte y el almacenamiento de los equipos de recubrimiento por evaporación al vacío. Esta norma se aplica a los equipos de recubrimiento por evaporación al vacío (en lo sucesivo denominados equipos) con una presión máxima en el rango de 5×10 Pa~5×10 Pa.