GB/T 14142-2017
Método de prueba para la perfección cristalográfica de capas epitaxiales en silicio: técnica de grabado (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 14142-2017

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2017

Organización

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

Ultima versión

GB/T 14142-2017

Reemplazar

GB/T 14142-1993

GB/T 14142-2017 Historia

• 2017 GB/T 14142-2017 Método de prueba para la perfección cristalográfica de capas epitaxiales en silicio: técnica de grabado
• 1993 GB/T 14142-1993 Método de prueba para la resistencia laminar de capas epitaxiales, difusas e implantadas con iones de silicio utilizando una matriz colineal de cuatro sondas