ASTM E2444-11(2018) Terminología estándar relacionada con las mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Esta norma consta de términos y definiciones relacionados con mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS). En particular, los términos están relacionados con las normas de la Sección 2, que fueron generadas por el Comité E08 sobre Fatiga y Fractura. La terminología E1823 Relativa a las Pruebas de Fatiga y Fractura es aplicable a esta norma. 1.2 Los términos se enumeran en orden alfabético. 1.3 Esta norma internacional fue desarrollada de acuerdo con los principios internacionalmente reconocidos sobre estandarización establecidos en la Decisión sobre Principios para el Desarrollo. de Normas, Guías y Recomendaciones Internacionales emitidas por el Comité de Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC) de la Organización Mundial del Comercio.

ASTM E2444-11(2018) Documento de referencia

ASTM E1823 Terminología estándar relacionada con las pruebas de fatiga y fractura
ASTM E2244 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
ASTM E2245 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
ASTM E2246 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar

2018 ASTM E2444-11(2018) Terminología estándar relacionada con las mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes
2011 ASTM E2444-11e1
2011 ASTM E2444-11 Terminología relacionada con las mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes
2005 ASTM E2444-05e1 Terminología relacionada con las mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes
2005 ASTM E2444-05 Terminología relacionada con las mediciones tomadas en películas delgadas y reflectantes