IEC 62047-32:2019
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 32: Método de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS
- Estándar No.
- IEC 62047-32:2019
- Fecha de publicación
- 2019
- Organización
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Ultima versión
- IEC 62047-32:2019
- Alcance
- Esta parte de IEC 62047 especifica el método de prueba y las condiciones de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS. Las declaraciones realizadas en este documento se aplican al desarrollo y fabricación de resonadores MEMS.
IEC 62047-32:2019 Historia
- 2019 IEC 62047-32:2019 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 32: Método de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS
estándares y especificaciones
BS IEC 62047-32:2019 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: método de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS
DIN EN 62047-28 E:2015-09 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 28: Métodos de prueba funcionales para dispositivos de recolección de energía
BS IEC 62047-34:2019 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: métodos de prueba para dispositivos piezorresistivos sensibles a la presión MEMS en oblea
IEC 62047-44:2024 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 44: Métodos de prueba para el rendimiento dinámico de dispositivos MEMS sensibles
IEC 62047-48:2024 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 48: Método de ensayo para determinar la concentración de una solución mediante
BS IEC 62047-48:2024 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: método de prueba para determinar la concentración de la solución mediante absorción óptica
BS IEC 62047-33:2019 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: dispositivo piezorresistivo sensible a la presión MEMS
BS IEC 62047-31:2019 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: método de prueba de flexión de cuatro puntos para la energía de adhesión interfacial
BS IEC 62047-28:2017 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos: método de prueba de rendimiento de dispositivos de recolección de energía de electretos MEMS