IEC 62047-32:2019
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 32: Método de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS

Estándar No.

IEC 62047-32:2019

Fecha de publicación

2019

Organización

International Electrotechnical Commission (IEC)

Ultima versión

IEC 62047-32:2019

Alcance

Esta parte de IEC 62047 especifica el método de prueba y las condiciones de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS. Las declaraciones realizadas en este documento se aplican al desarrollo y fabricación de resonadores MEMS.

IEC 62047-32:2019 Historia

• 2019 IEC 62047-32:2019 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 32: Método de prueba para la vibración no lineal de resonadores MEMS