ASTM F416-94

Estándar No.

ASTM F416-94

Fecha de publicación

1970

Organización

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Ultima versión

ASTM F416-94

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre la detección de defectos cristalinos en la región de la superficie de las obleas de silicio que son inducidos o mejorados por los ciclos de oxidación encontrados en el procesamiento de dispositivos. Se incluyen ciclos de oxidación a presión atmosférica representativos de las tecnologías bipolar, MOS y CMOS. Los procedimientos del método de prueba revelan campos de deformación que surgen de la presencia de precipitados, fallas de apilamiento preexistentes o inducidas por oxidación, dislocaciones y picaduras de grabado poco profundas que pueden ocurrir o no en un patrón similar a un remolino. Además, también revelan estrías que surgen de variaciones en los dopantes u otras impurezas y deslizamientos que surgen de la tensión interna en la oblea o de las tensiones en los bordes inducidas por daños por impacto o soportes de la oblea. NOTAl: Muchos de los defectos revelados por este método de prueba también se revelan mediante los procedimientos del Método de prueba F 47. Este último método de prueba se usa habitualmente para detectar dislocaciones, deslizamientos, linajes, límites de grano y otros defectos cristalinos en rodajas o trozos de silicio sin procesar. obleas. 1.2 La aplicación del método de prueba se limita a muestras que han sido pulidas químicamente o químicamente/mecánicamente para eliminar el daño superficial de al menos un lado de la muestra. En principio, los procedimientos de este método de prueba pueden aplicarse a la detección de defectos en capas epitaxiales; sin embargo, se debe tener cuidado de no grabar a través de la capa o región de interés. 1.3 El lado de la muestra opuesto a la superficie a investigar puede dañarse deliberadamente o tratarse de otro modo con fines decapantes o grabarse químicamente para eliminar el daño. NOTA 2: De lo contrario, las obleas idénticas con diferentes condiciones de la superficie posterior pueden producir resultados diferentes con este método de prueba. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias anteriores a la Icse. Peligro específico r Este método de prueba está bajo la jurisdicción del Comité FL de ASThI sobre Electrónica y es responsabilidad directa del Subcomité FOl.06 sobre Materiales de Silicio y Control de Procesos. Edición actual aprobada el 15 de julio de 1994. Publicada en septiembre de 1994. Publicado originalmente como F 416 75 T. Última edición anterior F 416 88. Las declaraciones se dan en la Sección 9.

ASTM F416-94 Documento de referencia

• ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva*， 1999-10-26 Actualizar
• ASTM F47 
• ASTM F6 Método de prueba para la densidad aparente del dióxido de germanio*， 1982-01-01 Actualizar

ASTM F416-94 Historia

• 1970 ASTM F416-94