GB/T 21287-2021 (Versión en inglés)

Alcance: Este documento especifica los requisitos técnicos, reglas de inspección, métodos de prueba, señales, embalaje, transporte y almacenamiento, y requisitos de información de seguridad para el trifluoruro de nitrógeno de grado electrónico. Este documento se aplica a la preparación y purificación de fluoruro de hidrógeno anhidro y amoníaco líquido como materias primas. o la preparación y purificación de trifluoruro de nitrógeno obtenido utilizando bifluoruro de amonio como materia prima.

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2021 GB/T 21287-2021 Gas especial para electrónica: trifluoruro de nitrógeno
2007 GB/T 21287-2007 Gases para la industria electrónica.Trifluoruro de nitrógeno