GB/T 21287-2007 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 21287-2007
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2007
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Estado: 2022-05
Remplazado por: GB/T 21287-2021
Ultima versión: GB/T 21287-2021

Alcance: Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, embalaje, marcado, transporte, almacenamiento y seguridad del trifluoruro de nitrógeno, un gas envasado utilizado en la industria electrónica. Esta norma se aplica al trifluoruro de nitrógeno utilizado en la industria electrónica. Se utiliza principalmente como grabador de plasma para procesos de plasma y agente de limpieza para la deposición química de vapor en la industria electrónica. Fórmula molecular: NF3. Peso molecular: 71.001 9 (según el peso atómico relativo internacional en 2001)

GB/T 21287-2007 Documento de referencia

GB 14194 Reglas para el llenado de cilindros de gas permanentes.
GB 190 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.*， 2009-06-21 Actualizar
GB 2723 Normas higiénicas para la carne fresca de vacuno, de cordero y de conejo frescos
GB 5099 Cilindros de gas de acero sin costura
GB 7144 Marca de cilindro de color para gases.
GB/T 5832.1 Análisis de gases. Determinación del agua. Parte 1: Método electrolítico.*， 2016-12-13 Actualizar
GB/T 6681 Reglas generales para el muestreo de productos químicos gaseosos.

2021 GB/T 21287-2021 Gas especial para electrónica: trifluoruro de nitrógeno
2007 GB/T 21287-2007 Gases para la industria electrónica.Trifluoruro de nitrógeno