SEMI S2-0310e-2012
DIRECTRICES AMBIENTALES, DE SALUD Y DE SEGURIDAD PARA EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES

Estándar No.

SEMI S2-0310e-2012

Fecha de publicación

2011

Organización

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Ultima versión

SEMI S2-0310e-2012

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Alcance

Esta guía se aplica a los equipos utilizados para la fabricación, medición, ensamblaje y prueba de productos semiconductores. Este documento contiene las siguientes secciones: 1. Propósito; 2. Alcance; 3. Limitaciones; 4. Normas y documentos de referencia; 5. Terminología; 6. Concepto de seguridad; 7. Disposiciones generales; 8. Proceso de evaluación; 9. Documentos proporcionados a los usuarios; 10. Etiquetas de advertencia de peligro; 11. Sistemas de enclavamiento de seguridad; 12. Parada de emergencia; 13. Diseño eléctrico; 14. Protección contra incendios; 15. Baños químicos calentados; 16. Ergonomía y factores humanos; 17. Aislamiento de energía peligrosa; 18. Diseño mecánico; 19. Protección sísmica; 20. Manipulación automatizada de materiales; 21. Consideraciones ambientales; 22. Extracción y ventilación; 23. Productos químicos; 24. Radiación ionizante; 25. Radiación y campos no ionizantes; 26. Láseres; 27. Nivel de presión sonora; 28. Documentos relacionados; Apéndice 1 - Aberturas de la carcasa; Apéndice 2 - Directrices de diseño de equipos para el uso de productos químicos líquidos; Apéndice 3 - Validación de pruebas de radiación ionizante; Apéndice 4 - Radiación no ionizante (excluidos los láseres) y verificación de pruebas de campo; Apéndice 5 - Protección contra incendios: Diagrama de flujo para la selección de materiales de construcción; Apéndice 6 - Hoja de datos del láser - SEMI S2. En caso de conflicto entre disposiciones de diferentes capítulos, el capítulo o subcapítulo que aborde el problema técnico específico tendrá prioridad sobre el capítulo o subcapítulo más general.

SEMI S2-0310e-2012 Documento de referencia

• ANSI/IEEE C95.1 Niveles de seguridad con respecto a la exposición humana a campos electromagnéticos de radiofrecuencia, de 3 kHz a 300 GHz
• ANSI/ISA S84.01 Aplicación de Sistemas Instrumentados de Seguridad para las Industrias de Procesos
• ANSI/RIA R15.06 Norma nacional estadounidense para robots industriales y sistemas robóticos: requisitos de seguridad (revisión de ANSI/RIA R15.06-1999)*， 2013-03-28 Actualizar
• ASHRAE 110 Métodos de prueba del rendimiento de campanas extractoras de laboratorio*， 2016-03-31 Actualizar
• DIN V VDE 0801 Principios de las computadoras en sistemas relacionados con la seguridad
• IEC 60825-1 Hoja de interpretación 2 - Seguridad de los productos láser - Parte 1: Clasificación y requisitos de los equipos*， 2017-12-19 Actualizar
• IEC 61010-1 Requisitos de seguridad para equipos eléctricos de medición, control y uso en laboratorio. Parte 1: Requisitos generales*， 2017-01-01 Actualizar
• IEC 61508 Seguridad funcional de sistemas eléctricos/electrónicos/electrónicos programables relacionados con la seguridad: TODAS LAS PIEZAS junto con una versión comentada (consulte Seguridad funcional
• ISO 10218-1 Robótica — Requisitos de seguridad — Parte 1: Robots industriales*， 2025-02-05 Actualizar
• ISO 13849-1 Seguridad de las máquinas - Partes de los sistemas de control relacionadas con la seguridad - Parte 1: Principios generales para el diseño*， 2023-01-01 Actualizar
• NFPA 12 Norma sobre sistemas de extinción de incendios con dióxido de carbono*， 2024-12-06 Actualizar
• NFPA 13 Norma para la Instalación de Sistemas de Rocío*， 2024-09-18 Actualizar
• NFPA 2001 Norma sobre sistemas de extinción de incendios con agentes limpios*， 2024-12-06 Actualizar
• NFPA 497 Práctica recomendada para la clasificación de líquidos, gases o vapores inflamables y de ubicaciones peligrosas (clasificadas) para instalaciones eléctricas en áreas de procesos químicos*， 2024-01-01 Actualizar
• NFPA 704 Sistema Estándar para la Identificación de los Peligros de Materiales para la Respuesta de Emergencia*， 2020-11-03 Actualizar
• NFPA 72 Código Nacional de Alarma y Señalización de Incendios*， 2024-09-18 Actualizar
• SEMI S1 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA LAS ETIQUETAS DE SEGURIDAD DE EQUIPOS
• SEMI S10 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA LA EVALUACIÓN DE RIESGOS Y EL PROCESO DE EVALUACIÓN DE RIESGOS
• SEMI S12 DIRECTRIZ AMBIENTAL, SALUD Y SEGURIDAD PARA LA DESCONTAMINACIÓN DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN
• SEMI S13 DIRECTRICES AMBIENTALES, DE SALUD Y SEGURIDAD PARA LOS DOCUMENTOS PROPORCIONADOS AL USUARIO DEL EQUIPO PARA SU USO CON EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTOR
• SEMI S14 DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA LA EVALUACIÓN Y MITIGACIÓN DEL RIESGO DE INCENDIO PARA EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI S22 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA EL DISEÑO ELÉCTRICO DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI S3 DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA SISTEMAS DE CALENTAMIENTO DE LÍQUIDOS DE PROCESO
• SEMI S6 DIRECTRICES EHS PARA LA VENTILACIÓN DE EXTRACCIÓN DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTOR
• SEMI S7 GUÍA DE SEGURIDAD PARA EL PERSONAL DE EVALUACIÓN Y LAS CALIFICACIONES DE LA EMPRESA EVALUADORA
• SEMI S8 DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA LA INGENIERÍA ERGONÓMICA DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTOR
• UL 508A Norma de seguridad para paneles de control industriales*， 2018-04-24 Actualizar

SEMI S2-0310e-2012 Historia

• 2011 SEMI S2-0310e-2012 DIRECTRICES AMBIENTALES, DE SALUD Y DE SEGURIDAD PARA EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones